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昭和電工高純度HF供給體制強化

2015-04-23

昭和電工半導體製程中COR使用之特殊氣體高純度HF的供給體制強化。川崎工廠既存設備能力於3月時向上提升2倍。再加上在中國的新設備建設，預定2015年中開始稼働。